掃描式電子顯微鏡
簡介:
SEM(掃描式電子顯微鏡)主要是利用微小聚焦的電子束(Electron Beam)進行樣品表面掃描。 此電子束(Electron Beam)與樣品間的交互作用會激發出各種訊號，可提供高解析之表面結構分析影像，亦可快速進行材料成份之分析。同時配備YAG BSE Detector，使SEM可用背向散射電子（Backscattered Electron，簡稱BSE）來成像。
儀器設備說明:
機型：Hitachi-S3400N，EDS機型：HORIBA
Ⅰ. 0.5~30KV
Ⅱ.電子光源：鎢絲
Ⅲ .放大倍率：35X ~ 50kX
Ⅳ .高解像能觀察： Resolution ：1.5nm.
Ⅴ.EDS分析：92≧原子序≧ 5
Ⅵ .自動功能：對焦、像差修正、明亮、對比。
主要附件：
Ⅰ. EDS（化學元素定性、定量和分佈影像分析）。
服務項目：
SEI（Scanning Electron Image）材料表面結構觀察，破斷面觀察，薄膜鍍層觀察
BEI（Backscatter Electron Image）背向散射電子影像觀察
能量分散光譜儀(Energy Dispersive Spectrometer)可作微區成分之定性、半定量分析、linescan及mapping
樣品準備說明：
1. 樣品面積：試片高度不得高於0.8cm，試片大小需小於直徑3.2cm
2. 為避免對超高真空造成污染，檢驗的樣品不得為高揮發性、污染性、磁性粉體等物質，且不得含有水份。
3. 使用者第一次觀察必須與儀器操作技術員討論樣品處理事宜
儀器收費：
1.校外委託操作：1300元/小時、3500元/3小時
2.EDS-點/面：50元/處
3.MAPPING：100元/處
4.鍍金：200元/60秒
儀器管理者： 曹秀鳳
電話/分機：07-6577711#3986
儀器置放地點：校本部工學院1樓2102
校外人員第一次預約請先申請帳戶