熱場發掃描式電子顯微鏡
簡介:
熱場發射掃描式電子顯微鏡 Thermal Field-Emission Scanning Electron Microscopy (FE-SEM)乃是利用高能量電子束撞擊試片，接收其產生訊號並輸出成影像，以進行高倍率與解析度的顯微觀察和快速元素組成分析，目前可廣泛應用於地質、生物、醫學、動物、材料、物理、化學、機械、冶金、電機、半導體等領域。
儀器設備說明:
機型：Hitachi-SU3900，EDS機型：AZtecLive standard with Ultim Max 40
Ⅰ. 0.5~30KV
Ⅱ. 電子光源：熱場發射電子槍
Ⅲ. 放大倍率：5X ~ 800kX
Ⅳ. 高解像能觀察： Resolution ：
0.9 nm (30kV ,高真空模式)
2.5 nm ( 1kV ,高真空模式)
1.6 nm ( 1kV ,高真空模式 ,減速裝置啟用)
Ⅴ. EDS分析：92≧原子序≧ 5
Ⅵ. 自動功能：對焦、像差修正、明亮、對比。
主要附件：
Ⅰ. EDS（化學元素定性、定量和分佈影像分析）。
樣品準備說明：
1. 樣品面積：試片高度不得高於8cm，試片大小需小於直徑20cm
2. 為避免對超高真空造成污染，檢驗的樣品不得為高揮發性、污染性、磁性粉體等物質，且不得含有水份。
3. 使用者第一次觀察必須與儀器操作技術員討論樣品處理事宜
儀器收費：(預計7月底對外開放預約)
1.校外委託操作：2000元/小時、5500元/3小時
2.EDS-點/面：50元/處
3.MAPPING：100元/處
4.鍍金：200元/60秒
參考網址:
https://www.hitachi-hightech.com/global/en/products/microscopes/sem-tem-stem/sem/su3800.html
儀器管理者： 曹秀鳳
電話/分機：07-6577711#3986
儀器置放地點：校本部工學院1樓2101
校外人員第一次預約請先申請帳戶